تصنيع أشباه الموصلات يتطلب أدق أجهزة استشعار للحرارة لأن: الأبعاد الفيزيائية الآن على مقياس ذري، مما يترك تقريباً هامشاً صفرياً للخطأ الحراري؛ بيئات التصنيع تحتوي على الفراغ والبلازما والبيئات المعادية للترددات الراديوية في آن واحد، مما قد يؤدي إلى تعطيل معظم أجهزة استشعار الحرارة؛ الأحداث الحرارية تستمر لمدة مللي ثانية أو ميكرو ثانية، مما يتطلب استجابة سريعة جداً من أجهزة استشعار الحرارة.